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1、光刻机整机1）、张江高科：持股微电子10.779%的股份；2）、上海电气：母公司为微电子第一大股东；3）、东方明珠：通过间接持股微电子；4）、奥普光电：长春光机所为公司实际控制人，长春光机所生产光刻机。2、光源（1）波长光电：光刻机平行光源系统；（2）茂莱光学：精密光学器件已应用于国产光刻机；（3）福晶科技：全球最大LBO、BBO非线性光学晶体生产商。3、光学器件（1）腾景科技：多波段合分束器已进入微电子供应链；（2）苏大维格：向微电子提供光刻机用的定位光栅产品；（3）炬光科技：提供光刻机曝光系统里面核心元器件光场匀化器；（4）京华激光：控股国外公司在光刻机微结构光学方面实力较强；（5）晶方科技：下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商。4、洁净设备（1）蓝英装备：精密清洗设备面向高端芯片制造行业企业客户；（2）美埃科技：提供最高洁净等级标准的设备，国外企业供应商白名单；（3）国林科技：产品用于CVD、ALD、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除等工艺中。5、温控（1）海立股份：微电子装备集团的系统级合作商（2）同飞股份：液体恒温设备应用于光刻机等领域的温度控制6、物镜赛微电子：光刻机厂商的MEMS透镜部件供应商。7、控制器电科数字：子公司可供货光刻机控制器。8、结构件金力泰：超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理；子公司是微电子供应商。9、维修服务东方嘉盛：提供光刻机寄售维修服务。
