1672年，比利时传教士南怀仁在北京制造出蒸气动力机械装置。
1670年，荷兰的物理学家、数学家和天文学家惠更斯发明了采用火药在气缸内燃烧膨胀推动活塞做功的机械，即“内燃机”。用火药作燃料的火药发动机是现代内燃机原理的萌芽。
1680年 牛顿设计了一台蒸汽发动机。
1765年，经过瓦特改良了的，广泛使用的活塞式蒸汽机。
1766年，英国发明家詹姆斯·瓦特改良蒸气机。
1769年，英国发明家詹姆斯·瓦特申请蒸汽机专利。
1801年，法国化学家飞利浦·勒本（Philips Lebon）成功研发以煤气和氢气为燃料的二冲程发动机。法国化学家菲利普.勒本，采用煤干馏得到的煤气和氢气作燃料，制成了将煤气和氢气与空气混合后点燃产生膨胀力推动活塞的发动机，这项发明被誉为内燃机发展史上开拓性的一步。
1824年 物理学家卡诺建立卡诺循环模型将热力学与动力联系起来。
1858年 勒努瓦发明了一款二冲程煤气发动机。
1862年 法国电器工程师莱诺创制成功了二冲程卧式内燃机。法国科学家德罗夏在卡诺（法国）热力学研究的基础上，提出了四冲程内燃机工作原理，德国发明家奥托在1876年设计制成了第一台四冲程内燃机。
1866年，德国工程师尼古拉斯·奥托（Nikolous Otto）发明四冲程发动机。
1876年 奥托制造了一台新型的，以煤气为燃料的四冲程内燃机。
1883年 曾是奥托公司工程师的戴姆勒，和好友迈巴赫制成了第一台四冲程往复式汽油机。
1885年，德国工程师卡尔·奔驰在曼海姆制造出汽油引擎装置，架设在马车上的三轮汽车，有0.85马力汽油引擎。
1886年1月29日，卡尔·奔驰取得世界第一项汽车引擎专利。
1897年 柴油机出世。